产品概述

EBL电子束光刻机隶属于尼维视「电子束光刻机」产品线，面向科研院所、高校与先进制造企业的电子束光刻机相关需求，提供从选型、安装调试到应用培训与售后维护的全流程支持。

选型要素

选型前建议先确认以下指标，我们的工程师可据此给出对应机型建议：

• 最小线宽
• 加速电压（kV）
• 写场尺寸
• 套刻精度
• 束流范围

技术参数

完整技术参数表请联系销售工程师索取（下方选型要素可先帮您确认需求）。